近日,商會(huì)副會(huì)長(zhǎng)單位北京京運(yùn)通科技股份有限公司承擔(dān)的“國(guó)家02專項(xiàng)”重大科技攻關(guān)項(xiàng)目取得重大技術(shù)進(jìn)展,由公司研制的國(guó)產(chǎn)大型區(qū)熔單晶硅爐于近日連續(xù)成功拉制出6英寸區(qū)熔單晶硅棒。6英寸區(qū)熔單晶硅棒的拉制成功,意味著京運(yùn)通公司的區(qū)熔單晶硅爐研制項(xiàng)目取得了重大技術(shù)成果。這是國(guó)內(nèi)首次應(yīng)用國(guó)產(chǎn)設(shè)備成功實(shí)現(xiàn)6英寸區(qū)熔單晶的工藝生產(chǎn),是國(guó)產(chǎn)區(qū)熔設(shè)備研制的重大突破,也是國(guó)產(chǎn)區(qū)熔設(shè)備的歷史性時(shí)刻,標(biāo)志著國(guó)產(chǎn)區(qū)熔設(shè)備真正的打破了國(guó)外對(duì)6英寸區(qū)熔單晶生產(chǎn)設(shè)備的壟斷,是向大尺寸區(qū)熔單晶設(shè)備產(chǎn)業(yè)化邁進(jìn)的重大一步,更預(yù)示著國(guó)產(chǎn)高端設(shè)備的崛起。
在公司領(lǐng)導(dǎo)的高度重視和親自指揮下,在公司各部門的共同努力下,京運(yùn)通公司研制的區(qū)熔單晶硅爐終于取得了重大突破,成功拉制出6英寸區(qū)熔單晶棒。6英寸區(qū)熔單晶棒整根重量達(dá)52公斤,等徑長(zhǎng)度1.1米,全長(zhǎng)1.4米,這是大型區(qū)熔單晶硅爐研制的重大且可喜的進(jìn)步。京運(yùn)通公司申請(qǐng)的“國(guó)家02專項(xiàng)”于2011年1月項(xiàng)目啟動(dòng)至今,經(jīng)過(guò)日以繼夜的技術(shù)攻關(guān),克服了種種困難,取得顯著進(jìn)展。在本課題即“基于IGBT用硅單晶區(qū)熔設(shè)備研制”取得成功后,將打破我國(guó)大規(guī)格區(qū)熔爐關(guān)鍵技術(shù)長(zhǎng)期被國(guó)外壟斷的局面,對(duì)實(shí)現(xiàn)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)、消除半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展瓶頸具有重要意義。
(新聞來(lái)源:京運(yùn)通官網(wǎng))